Vakuový depoziční a leptací systém

 

 

Operace:   Vakuové napařování, naprašování a odprašování (odleptávání)

aktuální sortiment depozic zde

 



Systém   :
- napařovací a naprašovací stojan (vpravo)  
- naprašovací a odprašovací stojan (vlevo)  
- řídicí stojan (uprostřed)  




 

Depoziční zdroje  (pravý stojan, dole v komoře)   :  
- 2" magnetronový naprašovací adaptér (vlevo) 
- jednotka 4-pozičního elektronového děla (vpředu) 
- 3 standardní lodičky (odporový ohřev) (vzadu) 






Držáky substrátů  (výměnné, pravý stojan)  :
A) - dolní : - pouzdro křemenného oscilátoru (vlevo vzadu),  - vyhřívaná podložka substrátů (uprostřed vpředu),
B) - horní : - pouzdro křemenného oscilátoru (vlevo), - vyhřívaná / chlazená podložka substrátů (vpravo) 

  A)          B) 






Karusel 3" targetů   (levý stojan) :  



F.Horáček   

Aktualizace:    11.2.2005


Na domovskou stránku laboratoře

 

   English version