Zprovoznění vzduchotechniky čistých prostor fotolitografického pracoviště
Zprovoznění vzduchotechniky čistých prostor
fotolitografického pracoviště
Postup výstavby laboratoře :
- zpracování projektu: říjen 1998
- kolaudace VZT: červenec 1999
- zprovoznění fotolitografie hybridních struktur: září 1999
- zprovoznění
fotolitografie monolitických struktur:
srpen 2000
- zpracování dokumentace
k vybudování nových čistých prostor pro elektronovou nanolitografii:
září 2006
-
výstavba nových čistých prostor
podle projektové dokumentace:
od ledna 2007
Přechod na stránku s fotodokumentací laboratoře zde.
Provozní řád čistých prostor vymezuje
podmínky a způsob práce v laboratoři, které jsou nezbytné pro
udržení jejího prostředí ve funkčním stavu.
Pracoviště má prostředky k vlastnímu
vytváření topologických návrhů
jednodušších struktur, které lze použít jako podklad pro přípravu
fotolitografických masek externím
pracovištěm.
Litograficky lze zpracovávat substráty z polovodičových
i jiných materiálů.
Z operací navazujících na litografii je laboratoř dále zaměřena především na
některé technologie montáže a
kontaktování
experimentálních vzorků.
Přechod na ukázky některých vzorků připravených v laboratoři
zde.
|
Kontakt s pracovištěm: |
Telefon: 220318-linka | |||
| Karel Hruška | - | hruskak@fzu.cz | -527,(-460, -492) | |
| Stanislav Hucek | - | hucek@fzu.cz | -413,(-460, -492) | |
| Vlastimil Jurka | - | jurka@fzu.cz | -527,(-460, -492) | |
| Zdeněk Výborný | - | vyborny@fzu.cz | -589,(-413, -460) |
Jiné kontakty a odkazy:
|
Aktualizace: 4.3.2010
ascii
english
