Rozmístění (očíslovaných) součástí laboratoře (verze 0703):
Označení (a funkce) jednotlivých místností:
místnost č.F39 - "černá" kancelář (personál - příprava topologických návrhů struktur),
m.č. F40 - "šedá" kancelář (personál - dohled nad technologickými procesy),
m.č. F41 - "šedý servis" (personál - servis zařízení, část technologické výbavy),
m.č. F42 - "šedá" strojovna (vzduchotechnika, část technologické výbavy),
m.č. F43A - "černá šatna" (první převléknutí z oděvu pro venkovní prostory),
m.č. F43B - "šedá šatna" (převléknutí a přezutí pro přechod do bílé šatny),
m.č. F44 - "bílá šatna" (definitivní převléknutí do kombinéz pro čisté sály),
m.č. F45 - sál čistoty třídy 10000 (mokré a suché leptací procesy),
m.č. F46+F47 - sál základní čistoty třídy 1000 obsahující zóny třídy čistoty 100 (litografie)
| Zóna elektronové litografie a mikroskopie (EBL/SEM): E1 - základní jednotka aparatury (tubus) E2 - stojan s řídicí elektronikou E3 - pult operátora EBL/SEM E4 - antivibrační blok (pro EBL/SEM) E5 - laminární zóna +/-0,5°C a čistoty třídy 100 E6 - předčerpání (vývěva) E7 - cívka X (systému aktivního tlumení mag.pole) E8 - cívka Y ( - " - ) E9 - cívka Z ( - " - ) E10 - sedadlo operátora EBL/SEM E11 - agregát hlavního termostatu EBL/SEM E12 - agregát termostatu elektronové optiky (na 0,1°C) E13 - záložní napájecí zdroj ovládání litografu (UPS) |
Zóna zpracování rezistů (místnost č.F47): R1 - chemický box (depozice elektronových rezistů) R2 - chem.box (zpracování elektronových rezistů) R3 - chemický box (depozice fotorezistů) R4 - chem.box (zpracování fotorezistů) R5 - odsávaná skříňka na rezisty R6 - odsávaná skříňka na vývojky a chemikálie R7 - storno R8 - laminární zóna čistoty třídy 100 R9 - antistatický závěs |
||
| Oblast fotolitografie a optické mikroskopie (m.č.F47): F1 - závěsné laminární pole (optický mikroskop) F2 - závěsné lam.pole (diagnostika) F3 - závěsné lam.pole (kontaktní expoziční zařízení) F4 - závěsné lam.pole (projekční expoziční zařízení) F5 - antivibrační blok (pro projekční exp.zařízení) F6 - antivibrační blok (pro kontaktní exp.zařízení) |
Sál mokrého a suchého leptání (místnost č.F45): L1 - odsávaná digestoř (korozivzdorné provedení) L2 - chemický box (mokré leptání - anorg.) L3 - storno L4 - chemický box (mokré leptání - organika) L5 - odsávaná skříňka na chemikálie (anorg.) L6 - odsávaná skříňka na chemikálie (organika) L7 - aparatura pro suché leptání (PE) L8 - aparatura pro suché leptání (RIE) L9 - závěsné laminární pole (optický mikroskop) L10 - závěsné laminární pole |
||
| Technické zázemí (místnosti č.F41 a č.F42 - strojovna): T1 - tlaková nádoba (O2) T2 - tlaková nádoba (CF4) T3 - tlaková nádoba (rezervní pozice) T4 - příprava DEMIneralizované vody T5 - bezolejový kompresor (pro rozvod stlačeného vzduchu) T6 - vývěva a centrální zásobník vakua T7 - tlaková nádoba (formovací plyn Ar+5%H2) T8 - žíhací zařízení (pec) T9 - zařízení (diamantová mikropila) pro řezání čipů T10 - depoziční zařízení T11 - vyvíječ plynného dusíku z kapalného (LN2) |
Některé další součásti: F7 - antivibrační blok (m.č.F40) pro analyt.zařízení O1 - okno vizuální kontroly sálu č.F46 P1 - rekonstruovaný plynoměr (na fasádě) P2 - plyn.kotel ohřevu pro vstupní VZT jednotku U1 - umyvadlo s bezpečnostní sprchou (m.č.F47) U2 - umyvadlo s bezpečnostní sprchou (m.č.F45) U3 - umyvadlo v místn.č.F39 U4 - umyvadlo v místn.č.F40 U5 - umyvadlo v místn.č.F41 U6 - vodovodní vývod + odpad v m.č.F42 U7 - vodov.vývod + odpad v m.č.F42 (pro úklid) V1 - vzduchotechnické jednotky (dle projektu VZT) V2 - řídící počítač k měření a regulaci (MaR) VZT |
|
|
|---|---|
Orientace centrální jednotky EBL vzhledem k jednotce zatmívače svazku |
|
Aktualizace:
14.10.2006
Na domovskou stránku laboratoře
English
version