Zprovozneni vzduchotechniky cistych prostor fotolitografickeho pracoviste
Zprovozneni vzduchotechniky cistych prostor fotolitografickeho pracoviste
Postup vystavby laboratore :
- zpracovani projektu: rijen 1998
- kolaudace VZT: cervenec 1999
- zprovozneni fotolitografie hybridnich struktur: zari 1999
- zprovozneni
fotolitografie monolitickych struktur:
srpen 2000
|
- zpracovani dokumentace
k vybudovani novych cistych prostor pro elektronovou nanolitografii:
zari 2006 - vystavba novych cistych prostor podle projektove dokumentace: od ledna 2007 |
Prechod na stranku s fotodokumentaci laboratore zde.
Provozni rad cistych prostor vymezuje podminky
a zpusob prace v laboratori, ktere jsou nezbytne pro udrzeni jejiho
prostredi ve funkcnim stavu.
Pracoviste ma prostredky k vlastnimu
vytvareni topologickych navrhu
jednodussich struktur, ktere lze pouzit jako podklad pro pripravu
fotolitografickych masek externim
pracovistem.
Litograficky lze zpracovavat substraty z polovodicovych
i jinych materialu.
Z operaci navazujicich na litografii je laborator dale zamerena predevsim na
nektere technologie montaze a
kontaktovani
experimentalnich vzorkù.
Prechod na ukazky nekterych vzorku pripravenych v laboratori
zde.
|
Kontakt s pracovistem: |
Telefon: 220318-linka | |||
| Karel Hruska | - | hruskak@fzu.cz | -527,(-460, -492) | |
| Stanislav Hucek | - | hucek@fzu.cz | -413,(-460, -492) | |
| Vlastimil Jurka | - | jurka@fzu.cz | -527,(-460, -492) | |
| Zdenek Vyborny | - | vyborny@fzu.cz | -589,(-413, -460) |
Jine kontakty a odkazy:
|
Aktualizace: 4.3.2010
cp-1250
english
