I. stupeň (reverzní osmosa):
- měrný odpor vody na výstupu: > 0,1 MOhm.cm
Parametry:
I. stupeň (reverzní osmosa):
- měrný odpor vody na výstupu: > 0,1 MOhm.cm
II. stupeň (deionizace):
- měrný odpor vody na výstupu: > 10 MOhm.com
- filtrace: < 0,22 µm
- voda před výstupem stabilizována DUV zářičem
Z výstupu deionizační a filtrační kolony je voda rozváděna na jednotlivá litografická pracoviště. Trvalý oběh DI vody (poháněné čerpadlem) zajišťuje její požadovanou kvalitu a tlak podél celého tohoto okruhu.
Voda je k dispozici i pro jiná pracoviště ústavu (celkový denní odběr do 30 litrů)Zpět na domovskou stránku laboratoře
Aktualizace:
7.12.2000