Vakuový depoziční a leptací systém
Operace:
Vakuové napařování, naprašování a odprašování (odleptávání)
aktuální sortiment depozic zde
Systém :
- napařovací a naprašovací stojan (vpravo)
- naprašovací a odprašovací stojan (vlevo)
- řídicí stojan (uprostřed)
Depoziční zdroje (pravý stojan, dole v
komoře) :
- 2" magnetronový naprašovací adaptér (vlevo)
- jednotka 4-pozičního elektronového děla (vpředu)
- 3 standardní lodičky (odporový ohřev) (vzadu)
Držáky substrátů
(výměnné, pravý stojan) :
A) - dolní :
- pouzdro křemenného oscilátoru (vlevo vzadu),
- vyhřívaná podložka substrátů (uprostřed vpředu),
B) - horní :
- pouzdro křemenného oscilátoru (vlevo),
- vyhřívaná / chlazená podložka substrátů (vpravo)
|
A) |
|
|
|
|
|
B) |
|
Karusel 3" targetů
(levý stojan) :
F.Horáček
Aktualizace:
11.2.2005
Na domovskou stránku laboratoře
English
version