| Zařízení | ||
| zn. | Název | Popis |
| E1 | EBL-tubus | nejchoulostivější zařízení = teplota +/-0,5°C!! |
| E2 | EBL-stojan s řídicí elektronikou | mimo E5 - přístroje vydávají teplo |
| E3 | EBL/SEM-pult operátora | operátor během provozu mimo E5 |
| E4 | Antivibrační blok-EBL/SEM | nejvýznamnější blok - pro E1 |
| E5 | laminární zóna +/-0,5°C a čistoty tř.100 | nejchoulostivější zařízení =>stabilizace teploty a čistota |
| E6 | EBL-vývěva (předčerpání) | umístěna ve strojovně(délka vak.potrubí od E6 k E1 max.8m !!) |
| E7 | Cívka X-magnet. tlumení | na povrchu obkladu stěny ? |
| E8 | Cívka Y-magnet. tlumení | na povrchu obkladu stěny ? |
| E9 | Cívka Z-magnet. tlumení | pod podhledem ? |
| E10 | EBL/SEM-operátor | operátor během provozu umístěn mimo E5 |
| E11 | EBL-hlavní termostat | umístěn ve strojovně (délka potrubí od E11 k E1 max.10m !!) |
| E12 | EBL-pomocný termostat (el.optiky na 0,1°C) | umístěn ve strojovně (délka potrubí od E12 k E1 max.10m !!) |
| E13 | EBL-UPS (pouze pro havarijní odstavení E1) | "Uninterrupted Power Supply" - umístění ve strojovně |
| R1 | chemický box-el.rezist-depozice | H-Sušárna, ch. úpravy povrchu, odstředivka |
| R2 | ch. box-elektron.rezist-vyvolávání | Horkovzdušná sušárna (H-Sušárna) |
| R3 | ch. box-fotorezist-depozice | H-Sušárna, ch. úpravy povrchu, odstředivka |
| R4 | ch. box-fotorezist-vyvolávání | H-Sušárna, |
| R5 | Skříňka na rezisty (odsávaná) | trvalé mírné odsávání |
| R6 | Skříňka na vývojky a chemikálie (ods.) | trvalé mírné odsávání |
| R7 | storno | storno |
| R8 | laminární zóna čistoty třídy 100 | nejčistší prostor pro depozici a zprac. rezistů |
| R9 | antistatický závěs | krytí zadní strany R3, R4 |
| F1 | Závěsné laminární pole-opt.mikroskop | optický mikroskop, měřicí systém |
| F2 | Závěsné laminární pole-diagnostika | diagnostika-měření vrstev, atd. |
| F3 | Závěsné laminární pole-kontaktní exp.zař. | kontaktni expoziční zařízení |
| F4 | Závěsné laminární pole-projekční exp.zař. | projekční (redukční 1:4) expoziční zařízení |
| F5 | Antivibrační blok (projekční zař.) | |
| F6 | Antivibrační blok (kont.exp.zař.) | |
| L1 | Odsávaná digestoř ("těžká" chemie) | odsávání plastovým potrubím (riziko koroze) |
| L2 | chem. box-mokré leptání(anorg.) | vodní lázeň, ultrazvuk.pračka, thermostat |
| L3 | ch. box | STORNO |
| L4 | chem. box-mokré leptání(organika) | horkovzdušná sušárna |
| L5 | sklad chemikálií-anorg.(skříňka) | trvalé mírné odsávání |
| L6 | sklad chemkálií-org.(skříňka) | trvalé mírné odsávání |
| L7 | Suché leptání(PE) | odvětrání rotační vývěvy |
| L8 | Suché leptání(RIE) | odvětrání rotační vývěvy |
| L9 | Závěsné laminární pole-opt.mikroskop | pracoviště s optickým mikroskopem |
| L10 | Závěsné laminární pole | |
| T1 | Tlaková nádoba O2 | pracovní plyn pro L7/L8 |
| T2 | Tlaková nádoba CF4 | pracovní plyn pro L7/L8 |
| T3 | Tlaková nádoba | rezervní pozice |
| T4 | Výroba Demi vody | reverzní osmoza + deionizátor H2O |
| T5 | Bezolejový kompresor | zdroj tlak. vzduchu pro pneumat.ventily E1 |
| T6 | Vývěva a zásobník centr. Vakua | zdroj vakua k jeho centrálnímu rozvodu |
| T7 | Tlaková nádoba Ar+5%H2 | pracovní plyn pro T8 |
| T8 | Žíhací zařízení (pec) | pec s ochrannou atmosférou (žíhání kontaktů) |
| T9 | Řezací zařízení (mikropila) | diamantová pila k řezání čipů |
| T10 | Depoziční zařízení | vakuová aparatura |
| T11 | Vyvíječ plynného dusíku z kapalného (LN2) | zdroj suchého dusíku k napouštění E1, T11 |
| stavba | ||
| zn | Název | Popis |
| D1 | Dveře-hlavní vchod | Dvojkřídlé pravé (protipožární) |
| D2 | Dveře-vstup do č.F39 | Dvojkřídlé levé |
| D3 | Uzaviratelný transportní otvor do č.F47 | Náhrada původně uvažovaných stěhovacích dveří |
| D4 | Dveře-přechod mezi č.F43A a č.F43B | Dvojkřídlé pravé |
| D5 | Dveře-vstup do č.F40 | Dvojkřídlé levé |
| D6 | Dveře-vstup do č.F41 | Dvojkřídlé levé (po upřesnění) |
| D7 | Dveře(transportní) do č.F46 | Dvojkřídlé stěhovací levé |
| D8 | Dveře(transportní) do č.F45 | Dvojkřídlé stěhovací pravé |
| D9 | Dveře-přechod mezi č.F43B a č.F44 | Dvojkřídlé pravé |
| D10 | Uzaviratelný transportní otvor do č.F42 | STORNO |
| D11 | Přestup mezi č.F44 a č.F45 | Dvojice vzájemně blokovaných dveří+vzduch.sprcha |
| D12 | Přestup mezi č.F45 a č.F46 | Dvojice vzájemně blokovaných dveří |
| D13 | Předávací otvor mezi č.F45 a č.F46 | (upřesnění=>) bude se realizovat |
| D14 | Dveře z č.F41 do č.F42 (strojovna) | Dvojkřídlé levé |
| D15 | Nouzový vstup do strojovny (vnitřní dveře) | Jednokřídlé levé (šířka=90cm) |
| D16 | Nouzový vstup do strojovny (venkovní dveře) | Jednokřídlé levé (šířka=90cm) |
| O1 | Okno z č.F43B do č.F46 | (okno kryté žaluzií) k vizuální kontrole čistého sálu |
| O2 | okno z č.45 do č.F42 (strojovna) | STORNO |
| E4 | EBL/SEM-antivibrační blok | konstrukce dle Doc.Makovičky - posun k severu o 15cm! |
| F5 | Antivibrační blok(projekční zař.) | posun k jihu! - zjednodušená konstrukce |
| F6 | Antivibrační blok(kontaktní zař.) | posun k jihu! - zjednodušená konstrukce |
| F7 | Antivibrační blok (místn. č.F40) | zjednodušená konstrukce - pro budoucí analytické zař. |
| Instalace | ||
| vzduchotechnika | ||
| V1 | podle projektu vzduchotechniky | |
| V2 | řídící počítač k MaR | |
| elektro | ||
| č.F45-47 | podle rozpisu "zařízení" (viz výše) | |
| č.F39-40 | zásuvky pro přístroje | |
| č.F41 | rozvodná deska + zásuvky pro přístroje | |
| č.F42-44 | Podle projektu vzduchotechniky a T4-T6 | |
| Osvětlení provozu | Podle projektu elektro | |
| voda | ||
| U1 | Umyvadlo v č.F47 | umyvadlo se skříňkou + bezp.sprcha |
| U2 | Umyvadlo v č.F45 | umyvadlo se skříňkou + bezp.sprcha |
| U3 | Umyvadlo v č.F39 | obnova stávajícího |
| U4 | Umyvadlo v č.F40 | obnova stávajícího |
| U5 | Umyvadlo v č.F41 | obnova stávajícího |
| U6 | vodovodní vývod + odpad v č.F42 | pro napojení T4 (reverzní osmóza) |
| U7 | vodovodní vývod + odpad v č.F42 | spec.dřez pro uklizečku |
| plyn | ||
| P1 | plynoměr | rekonstruovaný plynoměr přemístit do fasády |
| P2 | kotel ohřevu pro vzduchotechniku | Podle projektu VZT - instalace |