|
Zařízení |
|
|
|
|
zn. |
Název
|
Popis |
E1 |
EBL-tubus |
nejchoulostivější zařízení = teplota +/-0,5°C!! |
E2 |
EBL-stojan s řídicí elektronikou |
mimo E5 - přístroje vydávají teplo |
E3 |
EBL/SEM-pult operátora |
operátor během provozu mimo E5 |
E4 |
Antivibrační blok-EBL/SEM |
nejvýznamnější blok - pro E1 |
E5 |
laminární zóna +/-0,5°C a čistoty tř.100 |
nejchoulostivější zařízení =>stabilizace teploty a čistota |
E6 |
EBL-vývěva (předčerpání) |
umístěna ve strojovně(délka vak.potrubí od E6 k E1 max.8m !!) |
E7 |
Cívka X-magnet. tlumení |
na povrchu obkladu stěny ? |
E8 |
Cívka Y-magnet. tlumení |
na povrchu obkladu stěny ? |
E9 |
Cívka Z-magnet. tlumení |
pod podhledem ? |
E10 |
EBL/SEM-operátor |
operátor během provozu umístěn mimo E5 |
E11 |
EBL-hlavní termostat |
umístěn ve strojovně (délka potrubí od E11 k E1 max.10m !!) |
E12 |
EBL-pomocný termostat (el.optiky na 0,1°C) |
umístěn ve strojovně (délka potrubí od E12 k E1 max.10m !!) |
E13 |
EBL-UPS (pouze pro havarijní odstavení E1) |
"Uninterrupted Power Supply" - umístění ve strojovně |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
R1 |
chemický box-el.rezist-depozice |
H-Sušárna, ch. úpravy povrchu, odstředivka |
R2 |
ch. box-elektron.rezist-vyvolávání |
Horkovzdušná sušárna (H-Sušárna) |
R3 |
ch. box-fotorezist-depozice |
H-Sušárna, ch. úpravy povrchu, odstředivka |
R4 |
ch. box-fotorezist-vyvolávání |
H-Sušárna, |
R5 |
Skříňka na rezisty (odsávaná) |
trvalé mírné odsávání |
R6 |
Skříňka na vývojky a chemikálie (ods.) |
trvalé mírné odsávání |
R7 |
storno |
storno |
R8 |
laminární zóna čistoty třídy 100 |
nejčistší prostor pro depozici a zprac. rezistů |
R9 |
antistatický závěs |
krytí zadní strany R3, R4 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
F1 |
Závěsné laminární pole-opt.mikroskop |
optický mikroskop, měřicí systém |
F2 |
Závěsné laminární pole-diagnostika |
diagnostika-měření vrstev, atd. |
F3 |
Závěsné laminární pole-kontaktní exp.zař. |
kontaktni expoziční zařízení |
F4 |
Závěsné laminární pole-projekční exp.zař. |
projekční (redukční 1:4) expoziční zařízení |
F5 |
Antivibrační blok (projekční zař.) |
|
F6 |
Antivibrační blok (kont.exp.zař.) |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
L1 |
Odsávaná digestoř ("těžká" chemie) |
odsávání plastovým potrubím (riziko koroze) |
L2 |
chem. box-mokré leptání(anorg.) |
vodní lázeň, ultrazvuk.pračka, thermostat |
L3 |
ch. box |
STORNO |
L4 |
chem. box-mokré leptání(organika) |
horkovzdušná sušárna |
L5 |
sklad chemikálií-anorg.(skříňka) |
trvalé mírné odsávání |
L6 |
sklad chemkálií-org.(skříňka) |
trvalé mírné odsávání |
L7 |
Suché leptání(PE) |
odvětrání rotační vývěvy |
L8 |
Suché leptání(RIE) |
odvětrání rotační vývěvy |
L9 |
Závěsné laminární pole-opt.mikroskop |
pracoviště s optickým mikroskopem |
L10 |
Závěsné laminární pole |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
T1 |
Tlaková nádoba O2 |
pracovní plyn pro L7/L8 |
T2 |
Tlaková nádoba CF4 |
pracovní plyn pro L7/L8 |
T3 |
Tlaková nádoba |
rezervní pozice |
T4 |
Výroba Demi vody |
reverzní osmoza + deionizátor H2O |
T5 |
Bezolejový kompresor |
zdroj tlak. vzduchu pro pneumat.ventily E1 |
T6 |
Vývěva a zásobník centr. Vakua |
zdroj vakua k jeho centrálnímu rozvodu |
T7 |
Tlaková nádoba Ar+5%H2 |
pracovní plyn pro T8 |
T8 |
Žíhací zařízení (pec) |
pec s ochrannou atmosférou (žíhání kontaktů) |
T9 |
Řezací zařízení (mikropila) |
diamantová pila k řezání čipů |
T10 |
Depoziční zařízení |
vakuová aparatura |
T11 |
Vyvíječ plynného dusíku z kapalného (LN2) |
zdroj suchého dusíku k napouštění E1, T11 |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
stavba |
|
zn |
Název
|
Popis |
|
|
|
D1 |
Dveře-hlavní vchod |
Dvojkřídlé pravé (protipožární) |
D2 |
Dveře-vstup do č.F39 |
Dvojkřídlé levé |
D3 |
Uzaviratelný transportní otvor do č.F47 |
Náhrada původně uvažovaných stěhovacích dveří |
D4 |
Dveře-přechod mezi č.F43A a č.F43B |
Dvojkřídlé pravé |
D5 |
Dveře-vstup do č.F40 |
Dvojkřídlé levé |
D6 |
Dveře-vstup do č.F41 |
Dvojkřídlé levé (po upřesnění) |
D7 |
Dveře(transportní) do č.F46 |
Dvojkřídlé stěhovací levé |
D8 |
Dveře(transportní) do č.F45 |
Dvojkřídlé stěhovací pravé |
D9 |
Dveře-přechod mezi č.F43B a č.F44 |
Dvojkřídlé pravé |
D10 |
Uzaviratelný transportní otvor do č.F42 |
STORNO |
D11 |
Přestup mezi č.F44 a č.F45 |
Dvojice vzájemně blokovaných dveří+vzduch.sprcha |
D12 |
Přestup mezi č.F45 a č.F46 |
Dvojice vzájemně blokovaných dveří |
D13 |
Předávací otvor mezi č.F45 a č.F46 |
(upřesnění=>) bude se realizovat |
D14 |
Dveře z č.F41 do č.F42 (strojovna) |
Dvojkřídlé levé |
D15 |
Nouzový vstup do strojovny (vnitřní dveře) |
Jednokřídlé levé (šířka=90cm) |
D16 |
Nouzový vstup do strojovny (venkovní dveře) |
Jednokřídlé levé (šířka=90cm) |
|
|
|
O1 |
Okno z č.F43B do č.F46 |
(okno kryté žaluzií) k vizuální kontrole čistého sálu |
O2 |
okno z č.45 do č.F42 (strojovna) |
STORNO |
|
|
|
|
|
|
E4 |
EBL/SEM-antivibrační blok |
konstrukce dle Doc.Makovičky - posun k severu o 15cm! |
F5 |
Antivibrační blok(projekční zař.) |
posun k jihu! - zjednodušená konstrukce |
F6 |
Antivibrační blok(kontaktní zař.) |
posun k jihu! - zjednodušená konstrukce |
F7 |
Antivibrační blok (místn. č.F40) |
zjednodušená konstrukce - pro budoucí analytické zař. |
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
Instalace |
|
|
vzduchotechnika |
|
|
|
|
|
V1 |
podle projektu vzduchotechniky |
|
V2 |
řídící počítač k MaR |
|
|
|
|
|
|
|
elektro |
|
|
|
|
|
č.F45-47 |
podle rozpisu "zařízení" (viz výše) |
|
č.F39-40 |
zásuvky pro přístroje |
|
č.F41 |
rozvodná deska + zásuvky pro přístroje |
|
č.F42-44 |
Podle projektu vzduchotechniky a T4-T6 |
|
Osvětlení provozu |
Podle projektu elektro |
|
|
|
|
|
|
|
voda |
|
|
|
|
U1 |
Umyvadlo v č.F47 |
umyvadlo se skříňkou + bezp.sprcha |
U2 |
Umyvadlo v č.F45 |
umyvadlo se skříňkou + bezp.sprcha |
U3 |
Umyvadlo v č.F39 |
obnova stávajícího |
U4 |
Umyvadlo v č.F40 |
obnova stávajícího |
U5 |
Umyvadlo v č.F41 |
obnova stávajícího |
U6 |
vodovodní vývod + odpad v č.F42 |
pro napojení T4 (reverzní osmóza) |
U7 |
vodovodní vývod + odpad v č.F42 |
spec.dřez pro uklizečku |
|
|
|
|
|
|
|
plyn |
|
|
|
|
P1 |
plynoměr |
rekonstruovaný plynoměr přemístit do fasády |
P2 |
kotel ohřevu pro vzduchotechniku |
Podle projektu VZT - instalace |