verze 0703
Koment
ář k plánkůmpro čisté pracoviště
elektronové nanolitografie a fotolitografie
(odd.15 FZÚ AVČR - místn.č. F47, F46, F45 a jejich zázemí č.F39-F44)
oproti původním plánkům (z 30.5.2006) došlo k určitým přesunům, které jsou zapracovány d
o nové verze (EBL_0703.jpg). Ostatní rozkreslené plánky jsou zatím ve verzi0530.:EBL_0703.jpg
Rozmístění součástí pracoviště
- upřesnění poloh antivibračních bloků:
E4 – blok pod aparaturou EBL: umístit v ose buňky č.F46, odstup jižního okraje bloku
od jižní stěny místnosti = 150 cm,
F5 – blok pro optickou projekční kamerou: odstup jižního okraje bloku od jižní stěny
místnosti = 150 cm, odstup západního okraje bloku od stěny = 30 cm,
F7 – rezervní blok (pro STM): přesunout z místnosti č.F41 do místnosti č.F40, jeho
polohu vycentrovat do středu této místnosti (průsečík její SJ a VZ osy).
- ovládací pult EBL (E3) a sedadlo operátora EBL se přesunou cca 3 metry na východ a 2
metry na sever (= klidnější lokalita, zlepšení průchodnosti),
- předávací otvor (D13) se nebude realizovat (= postačí průchod přestupním boxem D12).
- vypuštěním chemického boxu L3 a jiným rozmístěním zbývajících chem.boxů L1-L2, L4
(viz aktualizovaný plánek) pro mokré leptání se zvětší
- tlakové nádoby (T1-3, T7) umístit do přechodové kabiny mezi č.F42 a venkovním prostorem
(tj. mezi dveře D15 a D16).
- prostor R1-R4 (zóna čistoty 100) je možno oddělit přepážkou od ostatních částí sálu
č.F47+F46 (který má základní čistotu třídy 1000).
- prostor E5 (zóna s přesnou stabilizací teploty ±0,5ºC a zvýšenou čistotou) oddělit
(antistatickou) přepážkou či lépe (antistatickým) závěsem od ostatních částí sálu
č.F47+č.F46 tak, aby byl zachován odstup 1 metr na všechny strany kolem antivibračního
bloku E4.
- je třeba prověřit, zda “stěhovací” dveře D10 do strojovny č.F42 zůstanou průchodné
vzhledem k projektované poloze vzduchotechnických jednotek v č.F42.
1_vzduch_0530.jpg
- trasa a profily potrubí podle výsledků projektu VZT (přívod tlakovým stropem, odvod
recirkulačního vzduchu podlahou).
- od odsávacího potrubí (odtahů chemických boxů L2, L4) v prostoru strojovny č.F42
odvětvit pomocné potrubí (Ø cca 10cm) k napojení:
- výdechů rotačních vývěv suchých leptaček L7-L8 (připravit stavební prostup tohoto
potrubí stěnou
2_chlazení_0530.jpg
- samostatný chladicí okruh s vysokou stabilitou teploty ± 0,5ºC (“1”) možná nebude
třeba konstruovat v rámci projektu pracoviště (předpokládá se řešit nákupem chladicího
příslušentví v rámci dodávky aparatury EBL). Tato aparatura bude však mít navíc další
chladicí okruh. Obě tyto chladicí jednotky umístit ve strojovně č.F42 (maximální
povolená délka přívodů od každé z nich k aparatuře E1 = 8 metrů). Pro jejich instalaci
připravit stavební prostup pro potrubí a kabely:
- v příčce (uvnitř zdvojené podlahy) mezi č.F46 a č.F45, a
- ve stěně místnostmi č.F45 a č.F42 (uvnitř zdvojené podlahy).
- chladicí okruh “2” napojit na stávající (výhledově rekonstruovaný) okruh v ústavu (kolísání
teploty by nemělo být na závadu chlazení Hg výbojek expozičních aparatur).
3_demi-voda_0530.jpg
- rozvod vody předčištěné reverzní osmózou (tj. na úrovni destilované vody) vede pouze do
jižní části prostoru leptání L1-L2, L4 (jak je vyznačeno už ve stávajícím plánku fialově).
Pohyb této vody samospádem ze zásobníku na stěně místnosti č.F42 (jeho umístění bude
upřesněno po dohodě s projektem VZT).
- rozvod vysoce čisté (demineralizované) vody dočištěné v deionizační koloně (vyznačený ve
stávajíc
- vodovodní rozvod zavést k umyvadlům U3,U4,U5 v místnostech č.F39-F41 (ta v původním
plánku 0EBL_0530.jpg ještě nebyla zakreslena).
- umyvadlo U1 v čistém sále č.F47 přemístit od západní zdi k jižní stěně chemického boxu F4
a nad něj nainstalovat bezpečnostní sprchu.
- umyvadlo U2 v sále č.F47 přemístit k severnímu okraji chemického boxu L4 a nad něj
nainstalovat bezpečnostní sprchu.
- vodovodní rozvod zavést do místnosti č.F45 (jižní část v oblasti boxů L1-L2, L4), celkem 5
vyústění/kohoutků (tj. počet boxů + 2 rezervní vyústění)
- ke všem umyvadlům (/sprchám) přivést kanalizační odpady.
- do strojovny č.F42 zavést vodovodní přívod pro napájení aparatury reverzní osmózy a
kanalizační odpad.
- do místnosti č.F41 nainstalovat vyústění vodovodu (2 ks) + odpad pro napojení mikropily.
- do strojovny č.F42 nainstalovat vyústění vodovodu (speciální dřez) pro uklizečku.
5_tlak-rozvod_0530.jpg
Rozvod stlačeného vzduchu:
strojovně č.F42).
- centrální vakuum rozvést ke všem aparaturám v místn.č. F45, č.F46+F47 (počet vyústění =
počet pracovních míst + 2x2 rezervní)
Rozvody technických plynů:
- od tlakové láhve T2 k suchým leptačkám L7, L8.
- od tlakové láhve T7 k žíhacímu zařízení T8.
6_elektro_0530.jpg
- rozvody vést tak, aby se minimalizoval vznik rušivých magnetických polí (viz ”7cz_protokol_0530.jpg”).
- silový kabel připravený k rekonstrukci budovy ”D” NEZAPOJOVAT (vést jej pod dvorem
nejkratší cestou od diesel-agregátu).
- silový přívod do nově budované laboratoře EBL vést pod dvorem nejkratší cestou od diesel-
agregátu).
3.7.2006
vyborny@fzu.cz