- upřesnění poloh antivibračních bloků:
E4 – blok pod aparaturou EBL: umístit v ose buňky č.F46, odstup jižního okraje bloku
od jižní stěny místnosti = 150 cm,
F5 – blok pro optickou projekční kamerou: odstup jižního okraje bloku od jižní stěny
místnosti = 150 cm, odstup západního okraje bloku od stěny = 30 cm,
F7 – rezervní blok (pro STM): přesunout z místnosti č.F41 do místnosti č.F40, jeho
polohu vycentrovat do středu této místnosti (průsečík její SJ a VZ osy).

- ovládací pult EBL (E3) a sedadlo operátora EBL se přesunou cca 3 metry na východ a 2
metry na sever (= klidnější lokalita, zlepšení průchodnosti),

- vypuštěním chemického boxu L3 a jiným rozmístěním zbývajících chem.boxů L1-L2, L4
(viz aktualizovaný plánek) pro mokré leptání se zvětší prostor pro aparatury suchého leptání
(= bude možno zde umístit i aparaturu RIE), jejichž přesná poloha bude rovněž upravena.
- skříňky na chemikálie R5-R6 přesunout ke středu západní stěny čistého sálu č.F47.

- prostor R1-R4 (zóna čistoty 100) je možno oddělit přepážkou od ostatních částí sálu
č.F47+F46 (který má základní čistotu třídy 1000).

- prostor E5 (zóna s přesnou stabilizací teploty ±0,5ºC a zvýšenou čistotou) oddělit
(antistatickou) přepážkou či lépe (antistatickým) závěsem od ostatních částí sálu
č.F47+č.F46 tak, aby byl zachován odstup 1 metr na všechny strany kolem antivibračního
bloku E4.
- je třeba prověřit, zda “stěhovací” dveře D10 do strojovny č.F42 zůstanou průchodné
vzhledem k projektované poloze vzduchotechnických jednotek v č.F42.

- od odsávacího potrubí (odtahů chemických boxů L2, L4) v prostoru strojovny č.F42
odvětvit pomocné potrubí (Ø cca 10cm) k napojení:
- výdechů rotačních vývěv suchých leptaček L7-L8 (připravit stavební prostup tohoto
potrubí stěnou (nad podlahou) mezi místnostmi č.F45 a č.F42),
- výdechu pomocné vývěvy E6 přemístěné z č.F46 do č.F42 (připravit stavební
prostup pro vakuové potrubí v příčce (uvnitř zdvojené podlahy) mezi č.F46 a č.F45 i
ve stěně mezi místnostmi č.F45 a č.F42 (uvnitř zdvojené podlahy), a
- odvětrání mikropily T9 a žíhacího zařízení T8 umístěných v č.F41 (připravit
stavební prostup tohoto potrubí stěnou (nad podlahou) mezi místnostmi č.F41 a
strojovnou č.F42).

- samostatný chladicí okruh s vysokou stabilitou teploty ± 0,5ºC (“1”) možná nebude
třeba konstruovat v rámci projektu pracoviště (předpokládá se řešit nákupem chladicího
příslušentví v rámci dodávky aparatury EBL). Tato aparatura bude však mít navíc další
chladicí okruh. Obě tyto chladicí jednotky umístit ve strojovně č.F42 (maximální
povolená délka přívodů od každé z nich k aparatuře E1 = 8 metrů). Pro jejich instalaci
připravit stavební prostup pro potrubí a kabely:
- v příčce (uvnitř zdvojené podlahy) mezi č.F46 a č.F45, a
- ve stěně místnostmi č.F45 a č.F42 (uvnitř zdvojené podlahy).

- chladicí okruh “2” napojit na stávající (výhledově rekonstruovaný) okruh v ústavu (kolísání
teploty by nemělo být na závadu chlazení Hg výbojek expozičních aparatur).

- rozvod vody předčištěné reverzní osmózou (tj. na úrovni destilované vody) vede pouze do
jižní části prostoru leptání L1-L2, L4 (jak je vyznačeno už ve stávajícím plánku fialově).
Pohyb této vody samospádem ze zásobníku na stěně místnosti č.F42 (jeho umístění bude
upřesněno po dohodě s projektem VZT).
- rozvod vysoce čisté (demineralizované) vody dočištěné v deionizační koloně (vyznačený ve
stávajícím plánku modře) vede jednak do téhož prostoru prostoru L1-L2, L4 jednak do
prostoru R1-R4 (vyvolávání rezistů, oplach). Nucený oběh této vody čerpadlem (= obě tyto
větve zapojit paralelně)
- oba systémy těchto potrubí realizovat pomocí speciálních hadiček z PE (vnější Ø 6 mm,
vnitřní Ø cca 4,4 mm – bude tato světlost postačovat?). Barva hadiček podle dohody.
- aparaturu reverzní osmózy, deionizační kolonu a čerpadlo umístit v místnosti č.F42 podle
dohody s projektem VZT.

4_odpad-voda_0530.jpg

- vodovodní rozvod zavést k umyvadlům U3,U4,U5 v místnostech č.F39-F41 (ta v původním
plánku 0EBL_0530.jpg ještě nebyla zakreslena).
- umyvadlo U1 v čistém sále č.F47 přemístit od západní zdi k jižní stěně chemického boxu F4
a nad něj nainstalovat bezpečnostní sprchu.
- umyvadlo U2 v sále č.F47 přemístit k severnímu okraji chemického boxu L4 a nad něj
nainstalovat bezpečnostní sprchu.
- vodovodní rozvod zavést do místnosti č.F45 (jižní část v oblasti boxů L1-L2, L4), celkem 5
vyústění/kohoutků (tj. počet boxů + 2 rezervní vyústění).

Rozvod stlačeného vzduchu:
- jako zdroj stlačeného vzduch použít bezolejový kompresor T5 se zásobníkem (a
odlučovačem kondenzátu) s vydatností zajišťující odběr 35 litrů/minutu při přetlaku max. 8
bar.

Vysokotlaký okruh:
- tmavomodré vedení (viz stávající plánek): tlak v něm redukovat na 7 bar přetlaku. Tento
rozvod napájí pneumatické ventily aparatur E1, F4. Kromě vedení vyznačených v plánku
zavést rověž odbočku do místnosti č.F41 (”šedý servis” – k připojení vysokorychlostní
diamantové mikropily) a přiravit vyústění rovněž v místnosti č.F42 (strojovna).
- Tlak v prostoru aparatur E1, F4 nesmí kolísat v závislosti na odběru mikropily T9.

Nízkotlaký okruh:
- světlemodré vedení (viz stávající plánek ): tlak v něm redukovat na hodnotu podle výsledků
jednání dne 29.6.06 (s ing.Kodedou). Tento rozvod se bude využívat pro technologii
zpracování vzorků (do ofukovacích pistolí)..
- potrubí stlačeného vzduchu realizovat z plastových vodovodních trubek (Ø ½”), pokud
ing.Kodeda neurčķ jinak.

Rozvod suchého plynného dusíku:
- jako zdroj plynného dusíku se bude používat odpařovací zařízení na Dewarově nádobě s
kapalným dusíkem (přetlaku max. do 1 bar). Specifikace podle zmíněného jednání z 29.6. s
ing. Kodedou.

Vysokotlaký okruh:
- tmavozelené vedení (viz stávající plánek ): tlak v něm redukovat na 1 bar přetlaku. Tento
rozvod se bude využívat pro technologické účely.

Nízkotlaký okruh:
- světlezelené vedení (viz stávající plánek ): tlak v něm redukovat na 0,3 bar přetlaku. Tento
rozvod se bude využívat pro zavzdušňování aparatur E1, proplach žíhacího zařízení T8 v
místnosti č.F41, depoziční aparatury T10, případně dalších.

- potrubí plynného dusíku realizovat z plastových vodovodních trubek (Ø ½”), pokud
ing.Kodeda neurčķ jinak.

Rozvod centrálního vakua:
tento okruh v plánku 5_tlak_rozvod_0530.jpg doposud nebyl vyznačený.
- zdrojem centrálního vakua je zásobník čerpaný rotační vývěvou T6 (umístěnou ve

strojovně č.F42).
- centrální vakuum rozvést ke všem aparaturám v místn.č. F45, č.F46+F47 (počet vyústění =
počet pracovních míst + 2x2 rezervní) a k mikropile T9 v místnosti č.F41.
- potrubí rozvodu centrálního vakua realizovat z plastových vodovodních trubek (Ø 1”), nebo
hadic dostatečně tvrdých proti jejich deformaci podtlakem.

Rozvody technických plynů:
- jako zdroj technických plynů se budou používat tlakové nádoby (láhve) umístěné v prostoru
mezi dveřmi D15-D16 (u výstupu ze strojovny č.F42 do venkovního prostoru v úrovni
terénu). Specifikace provedení rozvodů podle pokynů ing. Kodedy.

Plynný kyslík:
- od tlakové láhve T1 k suchým leptačkám L7, L8.

Plynný freon 14 (CF₄):

- od tlakové láhve T2 k suchým leptačkám L7, L8.

Formovací plyn (Ar + 5%H₂):

- od tlakové láhve T7 k žíhacímu zařízení T8.

- rozvody vést tak, aby se minimalizoval vznik rušivých magnetických polí (viz ”7cz_protokol_0530.jpg”).
- silový kabel připravený k rekonstrukci budovy ”D” NEZAPOJOVAT (vést jej pod dvorem
nejkratší cestou od diesel-agregátu).
- silový přívod do nově budované laboratoře EBL vést pod dvorem nejkratší cestou od diesel-
agregátu).