Litografie ve FZÚ Cukrovarnická – současnost, budoucnost
Řada experimentů se ve FZÚ Cukrovarnická provádí na vzorcích zhotovených z vrstevnatých epitaxních struktur (A3B5, Si, diamant, ..) litografickými technikami. Oddělení 15 vybudovalo k zajištění jejich přípravy koncem 90. let specializovanou litografickou laboratoř. Důležitou složkou její činnosti je těsná spolupráce s některými dalšími pracovišti (zejména z odd. 27, 26, 14 i několika externími). Nejjemnější detaily, které je zde možno připravit optickou metodou (fotolitografií), jsou v řádu jednotek až desítek mikrometrů. S ohledem na aktuální potřeby nanotechnologických projektů řešených v ústavu se rozšíří výbava této laboratoře o elektronovou nanolitografii (zprovoznění v polovině r.2007), která přinese zvýšení mezního rozlišení na strukturách o dva až tři řády. Instalace této špičkové aparatury je spojena s vybudováním kvalitních čistých prostor (v budově F v Cukrovarnické), jejichž výstavba v současnosti intenzivně probíhá.
Účelem semináře je podat zainteresovaným spolupracovníkům podrobnější informace o aktuálním stavu této problematiky a poradit se s nimi o optimálních směrech dalšího rozvoje pracoviště, jeho technologické vybavenosti i programů, do jejichž řešení je zapojeno.